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臭氧實(shí)驗(yàn)裝置一站式服務(wù)平臺(tái)
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實(shí)驗(yàn)現(xiàn)場(chǎng)

半導(dǎo)體企業(yè)定制高濃度臭氧發(fā)生檢測(cè)系統(tǒng)

來(lái)源：m.taisot.com 發(fā)布時(shí)間：2025-05-23 17:14:57 瀏覽次數(shù)：
單位名稱：半導(dǎo)體企業(yè)
實(shí)驗(yàn)內(nèi)容：ALD
臭氧機(jī)型：3S-B20

半導(dǎo)體企業(yè)定制高濃度臭氧發(fā)生檢測(cè)系統(tǒng)

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 3S-B20臭氧輸送系統(tǒng)，配置Apex H30 高濃度臭氧發(fā)生器，雙光路紫外臭氧在線檢測(cè)儀，質(zhì)量流量計(jì)，泄露報(bào)警器等，獨(dú)特的風(fēng)冷設(shè)計(jì)，體積小、濃度高、穩(wěn)定性好，是半導(dǎo)體ALD PLD CVD ALE MBE 等應(yīng)用的不二選擇。


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